洁净工作台故障分析及维护保养

一、洁净工作台常见故障

当洁净工作台设备出现异常，请按下表进行自查，若不能排除故障，请及时与富士■通联系维修。

警告：检查及更换部件时切断断路器及电源开关

二、洁净工作台维护保养

1、经常擦拭洁净工作台，保持清洁。

2、建议洁净工作台初效过滤器每使用720小时更》换一次，视实际使用情☆况可适当延长或缩短更换周期。

3、洁净工作台高效过滤器使用8000小时←左右或高效器的阻力大于300Pa时，需要使用风速仪（建议使用热感式风速仪）对出风面风速进行检测，当小于设计风速时（一般为小于0.25m/s），建议更换高效过滤器。

4、建议洁净工作台紫外线杀菌管灯每使用2000小时更换一次，视实际使用情况可适当延长或缩短更换周期。

5、洁净工作台╳高效过滤器更换

1）使用5吋的十字螺丝将均流网板上的螺丝卸下；

2）卸下均流网板；

3）使用14吋开口扳手将高效压条上螺母卸下，取下压条；

4）拿出高效过滤器，将新的高效装上∑，安装时注意气流方向；

5）在Ψ固定高效过滤器时，受力要均匀采用对角上紧的方式；

6）更换高效过滤器后，应重新检测洁净工作台技术参数，达到要求后方可继续工作。

注意：高效过滤的材料易于受损，请加倍注意

6、检测：建议参照美国联邦标准209E所示，定期使用粒子计数器检测洁净工作台工作区域内的尘埃粒子数（洁净度）及过滤器是否存在破漏情况（推荐使用美国Met One激光粒子计数器）