电子制造业万级无尘车间的特点
洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受√控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静◢电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的╱厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。一般来说,电子厂房的温∞度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间(特殊无尘车间有相关温湿度规定)。这时可有效地消除◥静电,并使人也感觉舒∏适。芯片Ψ生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制」造行业洁净车间↘的重要组成部分,由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求〓极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空◣气量、噪声等作出了严格的规定。
●电↑子制造厂万级洁净车间的噪声级(空态):不应大于65dB(A)
●电子ζ制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于∞40%,否则就是局部单向流了。
●电子制造厂洁净室与室☆外的静压差不应小于10Pa,不■同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa
● 补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气↙量之和。
● 保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气⌒量不小于40m3。
电子制造行业洁净室净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保★护,若采用点加湿时应设置无水保△护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的〓送风量。
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